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北大等团队：首创“蒸笼”法造硒化铟超3纳米硅基芯片
快讯摘要 北大、人大团队首创“蒸笼”法实现硒化铟晶圆级集成制造，晶体管性能超3纳米硅基芯片，成果18日发表。...
2025-07-18
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蒸笼
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